某半導體凈化車間

常規區要求：千級凈化、防靜電。核心區：百級凈化

溫度：22℃±2；濕度：55%±5；滿布FFU，做高架地板。做MAU+FFU+DC系統。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。采用垂直單向流的氣流形式，首先通過初效過濾器將空氣中的大顆粒粉塵粒子過濾掉。接著再通過高效過濾器進行二次過濾，以這樣的方式過濾掉空氣中更細小的粒子。在離心風機提供的壓力下，再次通過高效過濾器，使之達到潔凈要求。根據不同潔凈度的要求，可以適當重復以上步驟，已達到規定的潔凈要求。所有氣流均經過高效過濾器處理，所以送風，排風均不帶殘余粉塵，避免了二次污染。由于在工作區域形成穩定的單向流，起到保護外部環境的作用。